[发明专利]具有可调电阻的硅基纳米级电阻器件

摘要

一种非易失性固态电阻器件，所述非易失性固态电阻器件包括第一电极、p型硅第二电极、和电连接在所述电极之间的非结晶硅纳米结构。所述纳米结构具有响应于通过所述电极施加到所述纳米结构的电压可调的电阻。所述纳米结构可以被形成为被嵌入位于所述电极之间的绝缘层中的纳米柱。第一电极可以是银或其它导电金属电极。第三（金属）电极可以在邻近纳米结构的位置处连接到p型多晶硅第二电极以允许所述两个金属电极连接到其它电路。电阻器件可以被用作数字非易失性存储器件的单位存储单元以通过在两个或更多个值之间改变它的电阻来存储一位或更多位数字数据。

主权项

一种非易失性固态电阻器件，包括：第一电极；p型硅第二电极；以及非结晶硅纳米结构，所述非结晶硅纳米结构电连接在所述电极之间使得所述纳米结构具有响应于通过所述电极施加到所述纳米结构的电压可调的电阻。