[发明专利]薄膜检查装置及其方法无效
| 申请号： | 200980138578.0 | 申请日： | 2009-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102165281A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 坂井智嗣;中野要治;小林靖之;山口贤刚;高野晓巳 | 申请（专利权）人： | 三菱重工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 薄膜检查装置包括：存储部(14)，该存储部保存有至少2个特征量特性，所述2个特征量特性由以下方式得到：从因第1透明薄膜和第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少2个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与第1透明薄膜的膜厚和第2透明薄膜的膜厚分别建立关联；对被检查基板(S)从透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部(11)；接受来自被检查基板(S)的反射光的受光部(12)；和运算部(15)，从基于受光的反射光的分光反射光谱求出在存储部(14)中保存的各特征量的实测值，使用求出的各特征量的实测值和在存储部(14)中保存的特征量特性，分别求出第1透明薄膜和第2透明薄膜的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 检查 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜检查装置，对在透明玻璃基板上依次形成有反射率调整用的第1透明薄膜和第2透明薄膜以及透明导电膜的被检查基板，求出该第1透明薄膜和该第2透明薄膜的膜厚，该薄膜检查装置的特征在于，包括：存储部，该存储部保存有至少2个特征量特性，所述2个特征量特性由以下方式得到：从因所述第1透明薄膜和所述第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少2个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与所述第1透明薄膜的膜厚和所述第2透明薄膜的膜厚分别建立关联；对所述被检查基板从所述透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部；接受来自所述被检查基板的反射光的受光部；和运算部，该运算部从基于由所述受光部接受的反射光的分光反射光谱求出在所述存储部中保存的各所述特征量的实测值，使用求出的各所述特征量的实测值与在所述存储部中保存的所述特征量特性，分别求出所述第1透明薄膜和所述第2透明薄膜的膜厚。
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