[发明专利]具有多孔单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法

摘要

本公开涉及具有多孔抛光单元的抛光垫，以及在抛光过程中制造和使用该抛光垫的方法。在一个示例性实施例中，抛光垫包括多个抛光单元，抛光单元中的至少一些是多孔的，各抛光单元固定到支撑层以便限制抛光单元相对于一个或多个其他抛光单元的横向运动，但在正交于抛光单元的抛光表面的轴线上保持可移动的。在某些实施例中，抛光垫可包括导向板，该导向板设定成将多个抛光单元布置或可选择地固定到支撑层之上，以及额外地，抛光剂分布层之上。在一些实施例中，小孔在大体上整个多孔抛光单元分布。在其他实施例中，小孔在单元的抛光表面上大体上分布。

主权项

一种包括多个抛光单元的抛光垫，各个抛光单元固定到支撑层，以便限制抛光单元相对于一个或多个其他抛光单元的横向运动，但是仍保持在正交于抛光单元的抛光表面的轴线上的可运动性，其特征在于，抛光单元的至少一个包括多孔抛光单元；并且其中，各多孔抛光单元的至少一个表面包括多个小孔。