[发明专利]静电电容式振动传感器无效
| 申请号： | 200980131929.5 | 申请日： | 2009-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN102124755A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 笠井隆;饭田信行;西尾英俊 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 刘晓迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电电容式振动传感器。在硅基板(32)上形成贯通其表面背面的贯通孔等空洞部(36)。振动电极板(34)将空洞部(36)的上面侧的开口覆盖而配置在硅基板(32)的上表面。固定电极板(35)与振动电极板(34)隔开微小间隙而将振动电极板(34)的上方覆盖，周边部固定在硅基板(32)的上表面。固定电极板(35)通过侧壁部支承隔着空间与硅基板(32)的上表面相对的部分，所述侧壁部设置在不隔着空间而固定在硅基板(32)上表面的部分的内缘，固定电极板(35)的侧壁部的外表面被Au、Cr、Pt等金属构成的加强膜(44)覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种静电电容式传感器，具有基板、配置在所述基板的上表面的可动电极板、将所述可动电极板覆盖而配置在所述基板上表面的固定电极板，所述静电电容式传感器根据所述可动电极板与所述固定电极板之间的静电容量或其变化来检测物理量或其变化，其特征在于，所述固定电极板通过侧壁部支承隔着空间与所述基板的上表面相对的部分，所述侧壁部设置在不隔着空间而固定在所述基板的上表面的部分的内缘，在所述侧壁部的至少一部分形成有加强膜。
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