[发明专利]立式热处理装置及热处理方法

摘要

本发明是一种立式热处理装置，至少具备：反应管；用以保持基板的热处理用晶舟；用以加热基板的加热器；用以将环境气体导入反应管内的气体导入管；与气体导入管连接的气体供给管；形成在反应管下方所设置的凸缘体或反应管上且被气体导入管插通的进气口部；其特征在于：气体导入管与气体供给管的连接是在反应管外经由接头而进行的，该接头具有至少配备有凸缘部的金属制短管，该金属制短管的凸缘部经由O型环与设置于进气口部的凸缘部连接，由此连接形成的贯穿孔，其被气体导入管插通，并利用接头来连接气体供给管。由此，能提供一种不会在基板上产生模糊不清，能防止气体导入管的破损且能容易地将气体导入管与气体供给管连接的立式热处理装置。

主权项

一种立式热处理装置，至少具备：反应管；热处理用晶舟，其被配置在该反应管内，用以保持基板；加热器，其用以加热所述基板；气体导入管，其用以将环境气体导入所述反应管内；气体供给管，其与所述气体导入管连接；进气口部，其形成在所述反应管下方所设置的凸缘体或所述反应管上，且被所述气体导入管插通；其特征在于，所述气体导入管与所述气体供给管的连接是在所述反应管外经由接头而进行的，该接头具有至少配备有凸缘部的金属制短管，该金属制短管的凸缘部经由O型环与设置于所述进气口部的凸缘部连接，并且，所述气体导入管插通由所述金属制短管连接所述进气口部形成的贯穿孔，并利用所述接头与所述气体供给管连接。