[发明专利]正型感光性组合物及永久抗蚀剂无效
| 申请号： | 200980130519.9 | 申请日： | 2009-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102112922A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 斋藤诚一;森田博;竹之内宏美;小林纯;尾见仁一 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾迪科 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;C08G77/16;G02F1/1333;G03F7/023;G03F7/40;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的正型感光性组合物含有：作为(A)成分的硅树脂，所述硅树脂的1分子中具有至少2个以下述通式(1)表示的基团、作为(B)成分的具有缩水甘油基的硅氧烷化合物、作为(C)成分的重氮萘醌类、以及作为(D)成分的有机溶剂。永久抗蚀剂按下述方法制造：将上述正型感光性组合物涂布到基材上，对涂布物进行曝光、碱显影后，在120～350℃的温度下进行后烘烤，从而制造永久抗蚀剂。通式(1)中，R1表示可具有取代烃基的碳原子数为1～10的亚烷基，R2表示碳原子数为1～4的烷基，a表示0或1～4的数，b表示1～3的数，a+b不超过5， |
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| 搜索关键词： | 感光性 组合 永久 抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性组合物，其含有：作为(A)成分的硅树脂，所述硅树脂的1分子中具有至少2个以下述通式(1)表示的基团，![]()
通式(1)中，R1表示可具有取代烃基的碳原子数为1～10的亚烷基，R2表示碳原子数为1～4的烷基，a表示0或1～4的数，b表示1～3的数，a+b不超过5，作为(B)成分的具有缩水甘油基的硅氧烷化合物、作为(C)成分的重氮萘醌类，以及作为(D)成分的有机溶剂。
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