[发明专利]固体摄像元件

摘要

一种固体摄像元件，在斜向入射时，减低因向波导路内入射的光的角度增加导致的聚光损失及混色增加，在灵敏度提高方面具备有效的结构，其特征为，具备：Si基板(6)；多个单位像素，配置于Si基板(6)上；布线层(4)，形成于多个单位像素上；光波导区域(401)，形成于单位像素中包含的光电变换区域上，并且穿透布线层(4)；以及聚光元件(501)，形成于光波导区域(401)上；聚光元件(501)是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。

主权项

一种固体摄像元件，其特征为，具备：基板；多个单位像素，配置于上述基板上；布线层，形成于上述多个单位像素上；光波导区域，形成于上述单位像素中包含的光电变换区域上，并且穿透上述布线层；以及聚光元件，形成于上述光波导区域上；上述聚光元件是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。