[发明专利]A1基合金溅射靶材的制造方法无效
| 申请号： | 200980121618.0 | 申请日： | 2009-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102057074A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 得平雅也;松崎均;田内裕基;高木胜寿;岩崎祐纪;中井淳一 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研;株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F1/00;B22F3/15;B22F9/08;C22C1/04;C22C21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够以高成品率制造含有稀土类元素、和熔点比Al高的高熔点元素的Al基合金溅射靶材的方法。本发明涉及Al基合金溅射靶材的制造方法，包括如下工序：准备由雾化法制造的含有稀土类元素的Al基合金的第一粉末的工序、将第一粉末和含有一种以上的熔点比Al高的高熔点元素X的第二粉末进行混合的工序、和使第一粉末和第二粉末的混合粉末致密化的工序，在所述混合工序中，第一粉末的最大粒径(a)为10～200μm，所述第二粉末的最大粒径(b)为10～150μm，所述第一粉末的最大粒径(a)和所述第二粉末的最大粒径(b)的比(a)/(b)为0.5～5。 | ||
| 搜索关键词： | a1 合金 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种Al基合金溅射靶材的制造方法，所述Al基合金溅射靶材含有稀土类元素、和熔点比Al高的高熔点元素X，其特征在于，包括如下工序：准备由雾化法制造的含有稀土类元素的Al基合金的第一粉末的工序、将所述第一粉末和含有一种以上的所述高熔点元素X的第二粉末进行混合的工序、以及使所述第一粉末和所述第二粉末的混合粉末致密化的工序，在所述混合工序中，所述第一粉末的最大粒径a为10～200μm，所述第二粉末的最大粒径b为10～150μm，所述第一粉末的最大粒径a和所述第二粉末的最大粒径b的比a/b为0.5～5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社钢臂功科研;株式会社神户制钢所，未经株式会社钢臂功科研;株式会社神户制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980121618.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
