[发明专利]薄膜太阳能电池模块的制造方法和薄膜太阳能电池模块

摘要

本发明提供一种薄膜太阳能电池模块的制造方法和薄膜太阳能电池模块，采用该制造方法可确保薄膜太阳能电池模块的绝缘耐压特性具有较高的可靠性。本发明所述的薄膜太阳能电池模块的制造方法包括：在有绝缘性的透明基板(10)上形成第1电极层(11)的步骤；形成第1隔离槽(21X、21Y)的步骤，由其隔开透明基板的周边区域(30X、30Y)和位于该周边区域内侧的发电区域(50)，其形成深度达到透明基板的表面；在透明基板上形成半导体层(13)的步骤；在透明基板上形成第2电极层(12)的步骤；形成第2隔离槽(22a、22X、22Y)的步骤，其比第1隔离槽还靠近周边区域，其形成深度达到透明基板的表面；对周边区域进行喷砂处理以去除周边区域上的第1电极层、半导体层和第2电极层的步骤。

主权项

一种薄膜太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：在具有绝缘性的透明基板上形成第1电极层的步骤；形成第1隔离槽的步骤，由所述第1隔离槽隔开所述透明基板的周边区域和位于该周边区域内侧的发电区域，所述第1隔离槽的形成深度达到该透明基板的表面；在所述透明基板上形成半导体层的步骤；在所述透明基板上形成第2电极层的步骤；形成第2隔离槽的步骤，所述第2隔离槽位于比所述第1隔离槽还靠近所述周边区域的位置，所述第2隔离槽的形成深度达到所述透明基板的表面；对包括所述第2隔离槽在内的所述周边区域进行喷砂处理，以去除所述周边区域上的所述第1电极层、半导体层和第2电极层的步骤。