[发明专利]控制装置以及控制方法

摘要

包括存储单元，存储表示从处理基板的多个处理单元中选择的一个基准处理单元和其他非基准处理单元的相对位置的第一信息；第一计算单元，计算用于修正位置偏移的第一修正值，所述位置偏移是当在被将基板运送到各个处理单元的运送装置中保持模仿所述基板的样板的状态下驱动该运送装置、运送装置的样板针对基准处理单元的交接位置和预定的第一交接目标位置之间的位置偏移；以及第二计算单元，基于第一修正值和第一位置信息，计算用于修正运送装置的样板针对非基准处理单元的交接位置和预定的第二交接目标位置之间的位置偏移的第二修正值。

主权项

一种控制装置，对基板处理装置中的运送装置的交接位置的调整进行控制，所述基板处理装置包括对基板进行预定的处理的多个处理单元以及能够进行驱动以保持并运送所述基板来向所述各个处理单元进行交接的运送单元，所述控制装置包括：存储单元，存储表示从所述各个处理单元中选择的一个基准处理单元和其他非基准处理单元的相对位置的第一信息；第一计算单元，计算用于修正位置偏移的第一修正值，所述位置偏移是当在被所述运送装置中保持模仿所述基板的样板的状态下驱动该运送装置、所述运送装置的所述样板针对所述基准处理单元的交接位置和预定的第一交接目标位置之间的位置偏移；以及第二计算单元，基于所述第一修正值和所述第一位置信息，计算用于修正所述运送装置的所述样板针对所述非基准处理单元的交接位置和预定的第二交接目标位置之间的位置偏移的第二修正值。