[发明专利]用于对准的成像系统和方法有效
| 申请号： | 200980109429.1 | 申请日： | 2009-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101978796A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | M·巴特尔;M·西蒙斯 | 申请（专利权）人： | DTG国际有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种用于对被支撑的工件上表面上的至少一个工件对准特征进行成像的成像系统和方法，该系统包括：工件支撑部，其包括用于支撑工件的支撑表面；以及至少一个成像单元，其设置在工件支撑部的支撑表面下方，用于对工件上表面上的至少一个工件对准特征进行成像，其中所述至少一个成像单元包括：红外照明器，其用于照明工件下表面的区域，以及检测器，其用于捕获包括工件上表面上的至少一个工件对准特征的工件区域的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对被支撑的工件上表面上的至少一个工件对准特征进行成像的成像系统，所述系统包括：工件支撑部，其包括用于支撑工件的支撑表面；以及至少一个成像单元，其设置在工件支撑部的支撑表面下方，用于对工件上表面上的至少一个工件对准特征进行成像，其中所述至少一个成像单元包括：红外照明器，其用于照明工件下表面的区域，以及检测器，其用于捕获包括工件上表面上的至少一个工件对准特征的工件区域的图像。
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