[发明专利]固态前体升华器

摘要

一种用于在升华器中保持固态前体的装置和方法，以使固态前体能蒸发用于使载气饱和。该装置可包括形成内部通道和外部通道的交替的盘状件或搁架，以及用于流体联接所述通道的在各盘状件之间的空间，以便形成穿过升华器的曲折迂回的流体流动路径，用来优化固体蒸汽饱和作用。该方法可包括将载气引导入升华室，在外部通道中绕过第一搁架，在所述空间中越过第一搁架上方，在内部通道中绕过第二搁架，并退出升华室。

主权项

一种用于使固态前体蒸发的装置，该装置包括：容器，该容器包括可密封的开口、流体入口、流体出口和内部尺寸；至少一个第一搁架，该第一搁架具有小于容器内部尺寸的外部尺寸，以形成外部通道，并包括具有外部尺寸的内部支承件；至少一个第二搁架，该第二搁架包括外部支承件和开口，所述外部支承件定位于容器内部尺寸处，所述开口大于第一搁架内部支承件的外部尺寸；以及其中，第一搁架构造成与第二搁架形成重叠的垂直堆垛，以定位在容器内，并且通过外部通道在第一搁架和第二搁架之间建立流体流动路径。