[发明专利]固态前体升华器

权利要求书

1.一种用于使固态前体蒸发的装置，该装置包括：

容器，该容器包括可密封的开口、流体入口、流体出口和内部尺寸；

至少一个第一搁架，该第一搁架具有小于容器内部尺寸的外部尺寸，以形成外部通道，并包括具有外部尺寸的内部支承件；

至少一个第二搁架，该第二搁架包括外部支承件和开口，所述外部支承件定位于容器内部尺寸处，所述开口大于第一搁架内部支承件的外部尺寸；以及

其中，第一搁架构造成与第二搁架形成重叠的垂直堆垛，以定位在容器内，并且通过外部通道在第一搁架和第二搁架之间建立流体流动路径。

2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，第二搁架开口和第一搁架内部支承件形成与所述流体流动路径连通的内部通道。

3.按照权利要求2所述的装置，其特征在于，第一搁架和第二搁架之间的水平空间使所述流体流动路径在外部通道和内部通道之间延伸。

4.按照权利要求3所述的装置，其特征在于，所述流体流动路径与流体入口和流体出口连通。

5.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第一搁架构造成堆叠在至少一个垂直相邻的第一搁架的内部支承件上，以形成包括内部沟道的轴和与该轴相对的另一个外部通道，并且所述至少一个第二搁架构造成堆叠在至少一个垂直相邻的第二搁架的外部支承件上。

6.按照权利要求5所述的装置，还包括：

每个第一搁架和第二搁架之间的水平空间；

第二搁架和轴之间的内部通道；以及

其中，在容器中的流体入口和流体出口之间，内部通道和外部通道使流体流动路径围绕第一搁架和第二搁架延伸，且所述水平空间使液体流动路径在第一搁架和第二搁架上方延伸。

7.按照权利要求5所述的装置，其特征在于，所述内部沟道接纳下沉管。

8.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第二搁架开口构造成接纳并通过所述至少一个第一搁架的内部支承件。

9.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第一搁架和所述至少一个第二搁架在它们之间包括水平分隔空间，以使所述流体流动路径穿过外部通道围绕所述至少一个第一搁架和穿过所述水平分隔空间在所述至少一个第一搁架上方延伸。

10.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第一搁架包括至少一个环形槽以便支承固态前体。

11.按照权利要求10所述的装置，其特征在于，所述至少一个环形槽包括至少两个环形壁。

12.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，容器联接到加热器上。

13.一种用于在升华室中支承固态前体的装置，包括：

第一搁架，所述第一搁架包括用于支承固态前体的顶部表面、底部表面、和垂直取向的内部支承件；

第二搁架，所述第二搁架包括用于支承固态前体的顶部表面、底部表面和垂直取向的外部支承件，所述外部支承件周向设置在第二搁架上，并热耦合到升华室内壁上；

内部通道，该内部通道设置在第二搁架和第一搁架内部支承件之间；

外部通道，该外部通道设置在第一搁架和第二搁架外部支承件之间；以及

位于第一搁架和第二搁架之间的水平设置的空间，该空间在升华室中的内部通道和外部通道之间建立流体流动路径。

14.按照权利要求13所述的装置，其特征在于，第一搁架内部支承件包括联接器，该联接器构造成垂直地堆叠至少一个另外的第一搁架。

15.按照权利要求13所述的装置，其特征在于，第二搁架底部表面包括居中设置的开口，该开口构造成接纳和穿过第一搁架内部支承件。

16.按照权利要求14所述的装置，其特征在于，第二搁架外部支承件构造成垂直地堆叠至少一个另外的第二搁架，以形成第一搁架和第二搁架的重叠的垂直堆垛，并且其中多个所述内部通道、外部通道和水平空间使流体流动路径在升华室中围绕堆叠的搁架曲折迂回。

17.按照权利要求13所述的装置，其特征在于，第一搁架包括同心的环形壁，所述环形壁从顶部表面延伸并形成至少一个用于支承固态前体的环形槽。