[实用新型]具有成像光源的晶圆劈裂压板

摘要

本实用新型涉及一种具有成像光源的晶圆劈裂压板，其装设于一晶圆劈裂机的操作机件上，用于压制一晶圆，该晶圆劈裂压板包含一悬臂杆、一导光压制元件与一光源，其中该悬臂杆的一端与该操作机件连结，且该悬臂杆的另一端设有该导光压制元件，另外该导光压制元件由雾化透明材质所制成且具有一容置槽，该容置槽用于设置该光源，该光源所产生的光经该导光压制元件的导光产生一均匀的成像光源，因而在该操作机件使该悬臂杆位移至使该导光压制元件压制该晶圆时，除了可使该晶圆在劈裂时降低翘曲程度之外，还可通过该成像光源增加该晶圆在劈裂时的影像清晰度，以帮助取像成功，来增加晶圆劈裂的良率。

主权项

一种具有成像光源的晶圆劈裂压板，所述晶圆劈裂压板装设于一晶圆劈裂机(30)的操作机件(31)上，并用于压制一晶圆(40)，其特征在于，所述晶圆劈裂压板包括：一导光压制元件(21)，所述导光压制元件(21)由雾化透明材质制成且具有一容置槽(211)；一悬臂杆(22)，所述悬臂杆(22)的一端与所述操作机件(31)连接，且所述悬臂杆(22)的另一端设有所述导光压制元件(21)；以及一光源(23)，所述光源(23)设置于所述容置槽(211)内，并且所述光源(23)用于产生光线，所述光线经所述导光压制元件(21)的导光形成一成像光源(231)。