[实用新型]适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置有效
| 申请号： | 200920246555.9 | 申请日： | 2009-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN201589065U | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李鹏凯 | 申请（专利权）人： | 新奥光伏能源有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/00 | 分类号： | F17D3/00 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 065001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置，其特征在于，PECVD工艺设备的尾气处理管道的尾部端口有一密封的透明盖板，在盖板上有一球阀；所述PECVD工艺设备的尾气处理管道靠近尾部端口有一调节通风装置。本实用新型的优点在于在PECVD工艺设备的尾气处理管道的尾部端口安装密封的透明盖板，方便对管道内粉末堆积情况进行监测，同时，拆下盖板后易于对管道进行清理；在PECVD工艺设备的尾气处理管道上安装调节通风装置，可以调节通往尾气处理管道内的风速、风压，使管道内二氧化硅粉尘能被高速带走，同时降低二氧化硅在尾气中的浓度，能够控制通入干燥空气的流量，降低尾气的相对湿度，防止二氧化硅粉尘结块。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 pecvd 处理 二氧化硅 粉尘 多功能 尾气 装置 | ||
【主权项】：
适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置，其特征在于，PECVD工艺设备的尾气处理管道的尾部端口有一密封的透明盖板，在盖板上有一球阀；所述PECVD工艺设备的尾气处理管道靠近尾部端口有一调节通风装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新奥光伏能源有限公司，未经新奥光伏能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920246555.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无蓄电池的微型大容量矿灯
- 下一篇：防盗水止回阀
