[实用新型]适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置

权利要求书

1.适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置，其特征在于，PECVD工艺设备的尾气处理管道的尾部端口有一密封的透明盖板，在盖板上有一球阀；所述PECVD工艺设备的尾气处理管道靠近尾部端口有一调节通风装置。

2.如权利要求1所述的适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置，其特征在于，PECVD工艺设备的尾气处理管道的尾部端口的透明盖板是可以拆卸的。

3.如权利要求1所述的适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置，其特征在于，所述的调节通风装置由一管道组成，在管道内部装有止回阀和调风蝶阀，所述调节通风装置管道的止回阀端与PECVD工艺设备的尾气处理管道相连，调风蝶阀端与空气干燥设备相连接。

4.如权利要求1所述的适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置，其特征在于，所述的透明盖板上安装的球阀中可以插入风速风压仪测试设备。