[实用新型]一种硅片镀膜用支撑钩

摘要

本实用新型公开了一种硅片镀膜用支撑钩，该支撑钩与石墨框的格条固定连接；所述支撑钩包括一个或两个下凹的钩体、两个竖直向上的连接臂和连接所述两个连接臂的横梁，所述钩体与连接臂底端固定连接，所述钩体的下凹深度为3～6mm，所述钩体的钩尖到石墨框下边缘的竖直距离为2～4mm，钩尖到连接臂外边缘的水平距离为2～4mm。本实用新型在保证硅片能稳定的悬挂在石墨框方格孔内的同时，使硅片与支撑钩及石墨框之间留有足够的间隙，石墨框在使用很长一段时间后，其与支撑钩表面所沉积的氮化硅层也不会对硅片的镀膜质量产生影响，从而大大延长了石墨框的清洗周期，降低了成本，同时也避免了设备因此而导致的产能损失。

主权项

一种硅片镀膜用支撑钩，该支撑钩与石墨框(7)的格条(5)固定连接；所述支撑钩包括一个或两个下凹的钩体(3)、两个竖直向上的连接臂(1)和连接所述两个连接臂(1)的横梁(2)，所述钩体(3)与连接臂(1)底端固定连接，其特征在于：所述钩体(3)的下凹深度为3～6mm，所述钩体(3)的钩尖(10)到石墨框下边缘的竖直距离为2～4mm，钩尖(10)到连接臂(1)外边缘的水平距离为2～4mm。