[实用新型]研磨液传输装置有效
| 申请号： | 200920208274.4 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201483369U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张斐尧;程继 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露了一种应用于化学机械研磨机台的研磨液传输装置，该研磨液传输装置包括：第一管路，其一端与一歧管连通，另一端与一过滤装置连通；第二管路，其一端与该过滤装置连通，另一端与一流量控制器连通；第三管路，其一端与该流量控制器连通，另一端与该化学机械研磨机台连通；其中，所述第一管路、第二管路以及第三管路上分别设置有至少一个超声波发生装置。所述超声波发生装置产生的超声波可防止各个管路中的研磨液出现结晶现象，确保研磨液传输装置的正常运行，提高了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 传输 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨液传输装置，其应用于化学机械研磨机台，其特征在于，包括：第一管路，一端与一歧管连通，另一端与一过滤装置连通；第二管路，一端与该过滤装置连通，另一端与一流量控制器连通；第三管路，一端与该流量控制器连通，另一端与该化学机械研磨机台连通；其中，所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路上分别设置有至少一个超声波发生装置。
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