[实用新型]研磨液传输装置有效
| 申请号： | 200920208274.4 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201483369U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张斐尧;程继 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 传输 装置 | ||
1.一种研磨液传输装置，其应用于化学机械研磨机台，其特征在于，包括：
第一管路，一端与一歧管连通，另一端与一过滤装置连通；
第二管路，一端与该过滤装置连通，另一端与一流量控制器连通；
第三管路，一端与该流量控制器连通，另一端与该化学机械研磨机台连通；
其中，所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路上分别设置有至少一个超声波发生装置。
2.如权利要求1所述的研磨液传输装置，其特征在于，还包括一阀箱，该阀箱包括一箱体。
3.如权利要求2所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述歧管设置于所述箱体内部，所述第一管路的一端穿设所述箱体与该歧管连通。
4.如权利要求3所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述第一管路上设置有一第一阀门。
5.如权利要求4所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述第一阀门是位于所述箱体内部。
6.如权利要求2所述的研磨液传输装置，其特征在于，还包括一进液管路，该进液管路的一端穿设所述箱体与所述歧管连通，该进液管路的另一端与一研磨液供应槽连通。
7.如权利要求2所述的研磨液传输装置，其特征在于，还包括一出液管路，该出液管路的一端穿设所述箱体与所述歧管连通，该出液管路的另一端与一研磨液供应槽连通。
8.如权利要求2所述的研磨液传输装置，其特征在于，还包括一去离子水管路，该去离子水管路的一端穿设所述箱体与所述歧管连通，该去离子水管路的另一端与一去离子水冲洗装置连通。
9.如权利要求8所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述去离子水管路上设置有一第二阀门。
10.如权利要求9所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述第二阀门是位于所述箱体内部。
11.如权利要求1所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述第一管路上设置有一个超声波发生装置。
12.如权利要求11所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述第二管路上设置有一个超声波发生装置。
13.如权利要求12所述的研磨液传输装置，其特征在于，所述第三管路上设置有一个超声波发生装置。
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