[实用新型]推拉舟承重桨三维状态调节机构在审
申请号: | 200920109666.5 | 申请日: | 2009-06-30 |
公开(公告)号: | CN201440409U | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
发明(设计)人: | 郝晓明;李补忠;桂晓波 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种推拉舟承重桨三维状态调节机构,其特征在于:设有高度调节机构和水平调节机构,高度调节机构由固定底板、高度可调的前夹持件和后夹持件,前夹持件设有两个前支柱和一个前横杆;后夹持件设有两个后支柱和一个后横杆;该前、后夹持件的每根支柱的高度均可调,垂直固定在固定底板上;水平调节机构设有大底板、调节块、限位侧块、限位轴承和螺钉;大底板为推拉舟的移动块,其上面设有嵌入式滚珠轴承;调节块由调节基板、螺纹调节块、主调节螺钉、辅助定位螺钉及相应的固定螺钉组成。本实用新型适用于晶片加工扩散炉送料推拉舟承重桨的三维状态的调整,结构完善,调节灵活精确,运行过程中状态稳定可靠。 | ||
搜索关键词: | 推拉 承重 三维 状态 调节 机构 | ||
【主权项】:
一种推拉舟承重桨三维状态调节机构,其特征在于:设有高度调节机构和水平调节机构,高度调节机构由固定底板、高度可调的前夹持件和后夹持件构成,前夹持件设有两个前支柱(4.1、4.4)和一个前横杆(4.3);后夹持件设有两个后支柱(5.1、5.4)和一个后横杆(5.3);该前、后夹持件的每根支柱的高度均可调,垂直固定在固定底板(2)上;水平调节机构设有大底板、调节块、限位侧块、限位轴承和螺钉;大底板(1)为推拉舟的移动块,其上面设有嵌入式滚珠轴承,该轴承与高度调节机构的固定底板(2)底面设置的导轨槽相对应,该轴承和导轨槽构成水平调节机构横向调节的方向定位和降低摩擦部件;调节块由调节基板、螺纹调节块、主调节螺钉、辅助定位螺钉及相应的固定螺钉组成,调节基板(6)固定于大底板侧面,螺纹调节块(6.3)用固定螺钉铰接于高度调节机构的固定底板上,主调节螺钉(6.2)安装于调节基板中部,前端与螺纹调节块连接;辅助调节螺钉(6.1、6.11)安装于主调节螺钉两侧调节基板上,前端与固定底板侧面接触;限位侧块(7)呈L型,竖直面固定于大底板后部,安装孔呈竖直长圆,可调节限位块的高低;起限位作用的水平面(1.0)上,嵌入安装有四个滚珠轴承(7.1),轴承外侧各有一个定位锁紧螺钉(7.2);大底板中部相对于调节块的另一侧有定位螺纹孔,固定底板的相应位置设有长圆孔,在该定位螺纹孔和长圆孔中设有定位螺钉。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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