[实用新型]半导体流水线中的零度控制器无效
| 申请号： | 200920074248.7 | 申请日： | 2009-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN201575865U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 倪立华;许青峰;杨立华 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/02 | 分类号： | G01K1/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体流水线中的零度控制器，包括对所述零度控制器腔内温度进行采集的温度传感器，所述温度传感器信号连接到一个0℃监测报警装置，所述0℃监测报警装置将所述温度传感器采集的温度信息与一个预先设定的范围进行比较，如果所述温度信息超出了该设定范围，则所述0℃监测报警装置发出报警。本实用新型通过设置温度传感器以及相应的0℃监测报警装置，能够实时监控半导体流水线中的零度控制器的温度，在温度发生异常的时候及时报警，并且可靠性高，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 流水线 中的 零度 控制器 | ||
【主权项】：
一种半导体流水线中的零度控制器，其特征在于，包括对所述零度控制器腔内温度进行采集的温度传感器，所述温度传感器信号连接到一个0℃监测报警装置，所述0℃监测报警装置信号连接到半导体流水线中的机台。
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