[实用新型]用于晶圆电镀的夹具

摘要

一种用于晶圆电镀的夹具，由容纳组件和密封组件以可拆卸方式相连接而成，容纳组件由夹具外骨架、导电弹片和晶圆密封垫圈构成，密封组件由锁紧扣、锁紧扣保护套、压盖、晶圆缓冲密封垫圈、导向销和导电柱组成，导电柱一端与锁紧扣下端相接触形成电连接，导电柱另一端与导电弹片形成电连接，压盖上端设有旋转扣，旋转扣通过螺纹与夹具外骨架相连接。本实用新型在用于晶圆电镀的夹具中设有便于拆装的容纳组件和密封组件，设有多个导电柱以便给晶圆的导电层传导电流，密封组件的拆装方便，只需要由旋转扣与夹具外骨架之间通过螺纹相连接即可，并且操作者不会碰到晶圆的电镀导电层，保证了电镀质量，提高电镀效率，而且可用于自动化生产线。

主权项

一种用于晶圆电镀的夹具，由容纳组件和密封组件构成，其特征在于：所述的容纳组件由夹具外骨架、晶圆密封垫圈和两个以上数目的导电弹片构成，所述的夹具外骨架由圆柱型容器构成，夹具外骨架的内圆周壁上沿圆周向设置有导向槽，夹具外骨架的底板中设置有圆形孔，所述的晶圆密封垫圈覆盖在所述的圆形孔的上侧，所述的导电弹片对称设置在夹具外骨架的内圆周壁上，所述的密封组件由锁紧扣、锁紧扣保护套、压盖、晶圆缓冲密封垫圈、导向销和导电柱构成，所述的压盖由圆盘台阶状的绝缘塑料盖构成，压盖设置在夹具外骨架中，压盖的上端面固定设置有旋转扣，所述的旋转扣由金属对接套构成，旋转扣通过螺纹与夹具外骨架连接，所述的锁紧扣固定设置在压盖的中央，所述的锁紧扣保护套包围锁紧扣，所述的导电柱呈辐射式设置在压盖内，导电柱的一端分别与锁紧扣的下部圆柱固定连接并导电，导电柱的另一端穿出压盖下部的外圆周并且各自与一个所述的导电弹片电连接，所述的晶圆缓冲密封垫圈嵌设在压盖的下端面内，晶圆缓冲密封垫圈的下侧面突出压盖的下端面，晶圆缓冲密封垫圈与晶圆密封垫圈共轴，所述的导向销沿压盖的径向设置在压盖内，导向销的外端伸出压盖的外圆周面并与夹具外骨架内壁的导向槽配合。