[实用新型]气相沉积设备反应腔的加热装置

摘要

一种气相沉积设备反应腔的加热装置，包括气体A、气体B进气管道、缓冲腔、喷淋口、反应室、基座、石墨舟、加热器、排气管道，其特征在于所述加热器内的加热片位于加热片支撑盘上，其一端分别经地线电极连接柱、地线盘、地线导电支撑柱、夹具、地线电极盘与地线引出电极连接，另一端分别经火线电极连接柱、火线盘、火线导电支撑柱、夹具、火线电极盘、火线引出电极连接，加热片支撑盘、地线盘、火线盘、导电支撑柱经夹具夹持固定。本实用新型的优点是采用可以调节高度的多区辐射方式加热，实现快速升降温、均匀加热及温度调节，有效提高沉积物质的均匀性，从而提高了外延沉积的质量。

主权项

1.一种气相沉积设备反应腔的加热装置，气相沉积设备反应腔由设置于加热器系统顶部的气体A进气管道(14)、反应气体B进气管道(15)、设置于反应气体B进气管道(15)末端的缓冲腔(18)及喷淋口(17)、设置于喷淋口(17)下的反应室(21)、以及基座(20)、石墨舟(19)、加热器(31)、反应废气排出管道(23)组成，其特征在于所述加热器(31)位于基座(20)内，加热器(31)的加热片(7a、7b、7c)位于加热片支撑盘(30)之上，加热片支撑盘(30)位于基座顶部内侧下方，电极盘(22)设置为地线电极盘(22a)、内圈火线电极盘(22b)、中圈火线电极盘(22c)、外圈火线电极盘(22d)四个区域，加热片(7a、7b、7c)的一端分别经地线电极连接柱(8a、8b、8c)、地线盘(6a、6b、6c)、地线导电支撑柱(2a、2b、2c)、夹具(11)、地线电极盘(22a)与地线引出电极25连接，加热片(7a、7b、7c)的另一端分别经火线电极连接柱(9a、9b、9c)、火线盘(5a、5b、5c)、火线导电支撑柱(1a、1b、1c)、夹具(11)、火线电极盘(22b、22c、22d)与火线引出电极(26、28、29)连接，支撑盘(30)、火线盘(5a、5b、5c)、地线盘(6a、6b、6c)之间经连接支撑柱(12)固定连接，夹具(11)固定在地线电极盘(22a)、火线电极盘(22b、22c、22d)之上，加热片支撑盘(30)、地线盘(6a、6b、6c)、火线盘(5a、5b、5c)、导电支撑柱(1a、1b、1c、2a、2b、2c)经夹具(11)夹持固定，隔热盘(3a、3b、3c)位于火线盘(5a、5b、5c)的下方，隔热盘的层间经连接支撑柱(4)固定连接。