[发明专利]一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法无效
| 申请号： | 200910301705.6 | 申请日： | 2009-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101540591A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法，属于声表面波器件制造技术领域。所述方法是在蓝宝石表面先光刻显影声表面波换能器件图形，再用离子注入方法注入金属铝或铜元素；然后，在注入离子后的蓝宝石表面沉积多晶氮化铝压电薄膜；最后，去除光刻胶，得到声表面波换能器图形。此方法通过注入离子使蓝宝石表面电阻率大大降低，导电能力极大增强，从而替代原有的沉积导电薄膜。不需要沉积Al或Au薄膜，也不需要刻蚀过程。因此，操作大大简化，同时器件的抗功率承受力也极大增强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 表面波 换能器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述方法包括下列步骤：步骤A：利用光刻胶在蓝宝石薄膜或蓝宝石单晶表面光刻显影，将声表面波换能器图形区裸露，而非图形区进行掩盖；步骤B：采用离子注入方式注入导电元素；步骤C：在蓝宝石薄膜或蓝宝石单晶表面沉积多晶氮化铝薄膜；步骤D：剥离光刻胶，得到声表面波换能器图形。
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