[发明专利]光源装置有效
| 申请号： | 200910260858.0 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101770178A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 住友卓 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种即使高温等离子体(LPP)沿着光轴方向连续地振动，也可以防止光源闪烁的光源装置。本发明的光源装置，具有：相对配置有一对电极(14、15)并且封入有放电介质的放电灯(1)以及向着一对电极(14、15)间照射能量束(8)的能量束照射单元，其特征为：上述能量束照射单元在对电极(14、15)供电而使放电灯(1)点灯时，向着形成在电极(15)的前端附近的辉点(61)照射能量束(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 | ||
【主权项】：
一种光源装置，具有：相对配置有一对电极并且封入有放电介质的放电灯以及向着上述一对电极间照射能量束的能量束照射单元，其特征为，上述能量束照射单元在对上述电极供电而使上述放电灯点灯时，向着形成在上述电极的前端附近的辉点照射能量束。
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