[发明专利]光源装置有效
申请号: | 200910260858.0 | 申请日: | 2009-12-21 |
公开(公告)号: | CN101770178A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 住友卓 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/027 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 谢丽娜;关兆辉 |
地址: | 日本国东京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光源 装置 | ||
1.一种光源装置,具有:相对配置有一对电极并且封入有放电介 质的放电灯以及向着上述一对电极间照射能量束的能量束照射单元, 其特征为,
上述能量束照射单元在对上述电极供电而使上述放电灯处于点灯 状态时,从与上述放电灯的管轴正交的方向向着形成在上述电极的前 端附近的辉点连续照射能量束。
2.根据权利要求1所述的光源装置,其特征为,具有调整上述能 量束照射单元的位置的位置调整单元,该位置调整单元以在将上述放 电灯点灯时,由上述能量束照射单元照射的能量束向着形成在上述电 极的前端附近的辉点照射的方式进行调整。
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