[发明专利]光源装置

说明书

技术领域

本发明涉及在半导体或液晶基板、以及彩色滤光片等的制造工序 中利用的曝光装置用的光源装置，尤其是涉及具有对放射紫外线波长 区域的光的光源提供能量束(energy beam)的单元的光源装置。

背景技术

近年来，在半导体或液晶基板、以及彩色滤光片等的制造工序中， 通过使用输入功率较大的紫外线光源，来实现处理时间的缩短或对于 大面积的被处理物的统一曝光等。随此，对于作为紫外线光源的高压 放电灯就要求放射更高亮度的光。但是，如果单纯增大对高压放电灯 的输入功率，则对于配置在放电容器内部的电极的负荷增大，会导致 来自电极的蒸发物，成为高压放电灯内黑化、短寿命化的原因。

为了解决上述问题，已有各种提案被提出，例如，在专利文献1 中公开了一种光源，配置有封入有稀有气体或水银的放电容器，其具 有用来对配置在该放电容器的内部空间的种火生成用的一对电极间的 中心照射连续状或脉冲状激光束的激光源。根据该专利文献1公开的 光源，通过激光束进行加热，使等离子体呈高温状态，可由该已变为 高温状态的等离子体放射高亮度的紫外光。

上述光源通过照射在腔内的激光束，与在腔内相对配置的一对电 极间所产生的高温等离子体(Discharge Produced Plasma，放电等离子 体，以下也称之为DPP)独立地生成高温等离子体(Laser Produced Plasma，激光等离子体，以下也称之为LPP)。但是，该高温等离子体 (LPP)沿着激光束的光轴进行振动，存在高温等离子体(LPP)沿着 激光束的光轴方向发生位置变动的问题。尤其当在放电容器内封入有 水银及氙气时，高温等离子体(LPP)的位置变动较为明显。因此，会 有由光源放出的光产生闪烁的问题。另外，在上述专利文献1中，并 未明确记载有关在放电容器内的何处入射激光束。

专利文献1美国专利2007/0228300号公报

发明内容

本发明的目的在鉴于上述问题点，提供一种即使高温等离子体 (LPP)沿着光轴方向连续地振动，也可以防止光源闪烁的光源装置。

本发明为了解决上述课题，采用如下所示的方案。

第1方案是一种光源装置，具有：相对配置有一对电极并且封入 有放电介质的放电灯以及向着上述一对电极间照射能量束的能量束照 射单元，其特征为，上述能量束照射单元在对上述电极供电而使上述 放电灯点灯时，向着形成在上述电极的前端附近的辉点照射能量束。

第2方案是在第1方案中，上述能量束照射单元从与上述放电灯 的管轴正交的方向照射能量束。

第3方案是在第1或第2方案中，具有调整上述能量束照射单元 的位置的位置调整单元，该位置调整单元以在将上述放电灯点灯时， 由上述能量束照射单元照射的能量束向着形成在上述电极的前端附近 的辉点照射的方式进行调整。

根据本发明，即使入射的高温等离子体(LPP)等能量束连续地振 动，也可以防止光源闪烁。此外，通过使形成在放电灯的电极间的高 温等离子体(DPP)的辉点与高温等离子体(LPP)等能量束重复，可 得到极高亮度的等离子体。

附图说明

图1是表示第1实施方式的发明的光源装置的概要结构的透视图。

图2是表示图1所示的光源装置以直流点灯方式点灯时的放电灯 的结构的正面剖视图。

图3是作为图2所示的放电灯1的比较例的放电灯1的正面剖视 图。

图4是表示图1所示的光源装置以交流点灯方式点灯时的放电灯1 的结构的正面剖视图。

图5是表示第2实施方式的发明的光源装置的概要结构的透视图。

图6是表示图5所示的光源装置以直流点灯方式点灯时的放电灯 的结构的正面剖视图。

图7是表示图5所示的光源装置以交流点灯方式点灯时的放电灯 的结构的正面剖视图。

具体实施方式

利用图1至图4，说明本发明的第1实施方式。

图1是表示本实施方式的发明的光源装置的概要结构的透视图， 图2是表示图1所示的光源装置以直流点灯方式点灯时的放电灯的结 构的正面剖视图。