[发明专利]化学气相淀积反应器

摘要

本发明涉及一种化学气相淀积反应器。该反应器包括反应腔，反应腔包含有衬底载盘和在反应腔顶壁与衬底载盘之间形成的反应室，若干气流由气体入口进入反应室，通过衬底载盘上方的反应室后由尾气出口排出反应室。该反应室垂直于气体流动方向的反应室截面面积沿气体流动方向呈线性或者非线性减小，由此产生的气体会聚效应能有效补偿反应剂耗尽效应所导致的化学气相淀积速度的变化。该反应器具有结构简单，操作与维修方便，制造和使用成本低等优点，使用该反应器进行化学气相淀积具有效率高、耗源少、重复性、再现性和一致性好等优点。

主权项

一种化学气相淀积反应器，包括非圆柱形反应腔，所述非圆柱形反应腔包括反应腔底盘、放置在所述反应腔底盘上的衬底载盘、放置在所述衬底载盘和所述反应腔底盘之间的加热装置、以及反应腔壁；所述反应腔壁与所述衬底载盘之间形成非环形反应室，至少一股气流由位于所述反应室一侧对应的气体入口进入所述反应室，通过所述衬底载盘上方的反应室后由位于所述反应室另一侧的尾气出口排出所述反应室，其特征在于：所述反应室垂直于气体流动方向上的截面面积沿气体流动方向呈线性或非线性减小，或者所述反应室沿气体流动方向分为若干区段，所述各区段中至少包含一个区段的所述截面面积呈线性或非线性减小。