[发明专利]电机控制装置、方法、阻抗匹配器及等离子体处理设备有效
| 申请号： | 200910241940.9 | 申请日： | 2009-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102104357A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王一帆;武晔 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H02P8/12 | 分类号： | H02P8/12;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电机控制装置，包括检测单元、控制单元和电流调节单元，其能够根据电机转速而调节流经电机的电流，从而降低电机发热量，延长使用寿命。此外，本发明还提供一种电机控制方法，包括：10)检测电机转速；20)根据电机转速得出对应的电机电流；30)调节电机电流。此外，本发明还提供一种应用上述电机控制装置的阻抗匹配器，以及一种应用上述阻抗匹配器的等离子体处理设备。并且，上述电机控制方法、阻抗匹配器及等离子体处理设备同样能根据电机转速而调节流经电机的电流，从而延长设备使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电机 控制 装置 方法 阻抗 配器 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种电机控制装置，用以根据电机转速而调节流经所述电机的电流，其特征在于，所述电机控制装置包括检测单元、控制单元和电流调节单元，其中所述检测单元用于检测电机的转速，并将相应检测值发送至所述控制单元；所述控制单元根据来自检测单元的检测值得出电机在当前转速时所对应的期望电流值，并向所述电流调节单元发送相关的电流调节指令；所述电流调节单元根据所述电流调节指令作出相应的调节动作，以将流经所述电机的电流调节为期望电流值。
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