[发明专利]一种微机械锁存开关装置

摘要

本发明涉及一种微机械锁存开关装置，它包括衬底，一由动触头、位于动触头上方的顶触头、位于动触头下方两侧的两侧触头、顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁和与各对应锚点组成的常开通道，一由断裂梁、支撑梁和与各对应锚点组成的常闭通道，一由检测梁、检测质量块和与各对应锚点组成的敏感单元；动触头的顶部呈凸出的圆形弧面，顶触头与动触头的圆形弧面对应，设置呈内凹的圆形弧面；各顶触头挠性梁的两端分别连接锚点的一侧和顶触头的一侧；各动触头挠性梁的两端分别连接动触头的一侧和锚点；各侧触头挠性梁两端分别连接锚点和一侧触头；各检测挠性梁两端分别连接惯性质量块的一侧和锚点；每一侧的断裂梁与支撑梁的连接处为一极薄弱的可断口。本发明性能高，可靠性高，并集常闭和常开功能于一体，可以广泛应用在微机电系统领域中。

主权项

一种微机械锁存开关装置，其特征在于：它包括一衬底，一由动触头、位于所述动触头上方的顶触头、位于所述动触头下方两侧的两侧触头、顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁和与各对应锚点组成的常开通道，一由断裂梁、支撑梁和与各对应锚点组成的常闭通道，一由检测梁、检测质量块和与各对应锚点组成的敏感单元；各所述触头、挠性梁和锚点相对于所述衬底X轴对称，各所述锚点固定连接在所述衬底上；所述动触头的顶部呈凸出的圆形弧面，所述顶触头与动触头的圆形弧面对应，设置呈内凹的圆形弧面；每一所述顶触头挠性梁的两端分别连接一所述锚点的一侧和所述顶触头的一侧；每一所述动触头挠性梁的两端分别连接所述动触头的一侧和一所述锚点；每一所述侧触头挠性梁两端分别连接一所述锚点和一所述侧触头；每一所述检测挠性梁两端分别连接所述惯性质量块的一侧和一所述锚点；每一侧的所述断裂梁与支撑梁的连接处为一极薄弱的可断口。