[发明专利]一种阻抗调节装置和包含该装置的阻抗匹配系统有效
| 申请号： | 200910238279.6 | 申请日： | 2009-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101741337A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H7/09 | 分类号： | H03H7/09 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种中、低频阻抗调节装置和包含该装置的阻抗匹配系统，能够使包括负载和阻抗调节装置在内的阻抗与电源特性阻抗共轭匹配。所述装置包括变压器和电容C1，所述变压器与电容和负载C1依次连接构成通路。通过调节变压器(初、次线圈匝数比)和电容C1的值，可以使包括负载和阻抗调节装置在内的阻抗与电源特性阻抗实现阻抗匹配，从而把中、低频电源功率加载到负载上，避免了功率损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗 调节 装置 包含 阻抗匹配 系统 | ||
【主权项】：
一种阻抗调节装置，用于对负载进行阻抗匹配，其特征在于，包括：变压器和电容C1，所述变压器与电容C1和负载依次连接构成通路。
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