[发明专利]氮化铝烧结体、其制造方法和使用其的静电卡盘

摘要

本发明提供一种不合钐的氮化铝烧结体，具有与含钐的氮化铝烧结体同等性能。本发明的氮化铝烧结体的制造方法包括：(a)调制不合Sm的混合粉末的工序，该混合粉末含有AlN、相对于AlN100重量份的2～10重量份的Eu2O3、相对于Eu2O3的摩尔比为2～10的Al2O3和相对于Al2O3的摩尔比为0.05～1.2的TiO2；(b)使用混合粉末制作成形体的工序；(c)随着烧成该成形体，在真空或惰性气氛下，进行热压烧成的工序。

主权项

一种氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，包括：(a)调制不含钐化合物的混合粉末的工序，该混合粉末含有氮化铝、相对于氮化铝100重量份的2～10重量份的氧化铕、相对于氧化铕的摩尔比为2～10的氧化铝和相对于氧化铝的摩尔比为0.05～1.2的氧化钛；(b)使用所述混合粉末制作成形体的工序；(c)烧成该成形体时，(1)在真空或惰性气氛下，进行热压烧成，或(2)在真空或惰性气氛下，进行热压烧成后，以比烧成温度高的温度进行退火处理的工序。