[发明专利]一种提高PLCC封装集成电路合格率的方法有效
申请号: | 200910196223.9 | 申请日: | 2009-09-23 |
公开(公告)号: | CN102024711A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 聂纪平 | 申请(专利权)人: | 上海贝岭股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人: | 章蔚强 |
地址: | 20023*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种提高塑料PLCC封装集成电路合格率的方法,包括下列步骤:减薄;绷膜;划片;粘片;键合;模封;固化;电镀;其特征在于,在上述键合和模封步骤之间增加一硅片覆层步骤,即采用涂层材料在硅片表面均匀涂覆后再模封。采用了上述的技术解决方案,即增加一步硅片覆层步骤,本发明可以缓解封装应力导致的集成电路线路参数漂移失效,在不改变现有设计和工艺的基础上提高芯片性能,明显提高了合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 plcc 封装 集成电路 合格率 方法 | ||
【主权项】:
一种提高塑料PLCC封装集成电路合格率的方法,包括下列步骤:第一,减薄,即将晶圆通过背面打磨使之厚度控制在规定的范围内;第二,绷膜,即加热至60~80度的温度,给晶圆的背面贴上一层有弹性和粘性的蓝膜,并固定在一金属框架上;第三,划片,即将整个晶圆上每一个独立的电路通过高速旋转的金刚石刀片切割开来;第四,粘片,即通过机械臂驱动真空吸嘴将切割完成的硅片(Die)放置并焊接在载体上;第五,键合,即用金属线将硅片上的电气连接点和引线框架上的管脚或者基板上的焊盘连接起来;第六,模封,即使用固态环氧树脂模封材料注模成型;第七,固化,即在规定温度下使固态环氧树脂模封材料固化成型;第八,电镀,采用电镀方法给封装成型的器件引脚电镀,以增强器件的可焊性;其特征在于,在上述加工的第五和第六步骤之间增加一硅片覆层步骤,即采用涂层材料在硅片表面均匀涂覆后再模封;所述的第一步骤中,晶圆的厚度控制在350~390um的范围内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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