[发明专利]电子束蒸发源装置有效
| 申请号： | 200910183273.3 | 申请日： | 2009-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101619442A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 丁海峰 | 申请（专利权）人： | 丁海峰 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210008江苏省南京市定淮*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束蒸发源装置，包括带有内腔的壳体，冷凝管、第一绝缘件、第二绝缘件、离子束流收集器、用于固定蒸发材料的蒸发棒、两个导体以及灯丝；所述壳体设有第一开口和第二开口，所述第一开口、第二开口分别与所述第一绝缘件、第二绝缘件密封连接；所述离子束流收集器与第二绝缘件连接，且离子束流收集器外部嵌套有收集器外壳，所述第二绝缘件、离子束流收集器以及收集器外壳上设有射出离子束的通孔；所述蒸发棒以及两个导体一侧位于壳体的内腔中，另一侧伸出第一绝缘件；所述灯丝与两根导体位于内腔内的一端连接；所述冷凝管与壳体紧密连接。本发明符合国际规范技术指标，简化了加工与组装工艺，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电子束蒸发源装置，其特征在于，包括带有内腔的壳体(1)，冷凝管(2)、第一绝缘件(3)、第二绝缘件(4)、离子束流收集器(5)、用于固定蒸发材料的蒸发棒(6)、两个导体(7)以及灯丝(8)；所述壳体(1)设有第一开口(9)和第二开口(10)，所述第一开口、第二开口分别与所述第一绝缘件、第二绝缘件密封连接；所述离子束流收集器(5)与第二绝缘件(4)连接，且离子束流收集器外部嵌套有收集器外壳(11)，所述第二绝缘件、离子束流收集器以及收集器外壳上设有射出离子束的通孔；所述蒸发棒以及两个导体一侧位于壳体的内腔中，另一侧伸出第一绝缘件(3)；所述灯丝(8)与两根导体(7)位于内腔内的一端连接；所述冷凝管(2)与壳体(1)紧密连接。
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