[发明专利]电子束蒸发源装置

权利要求书

1.一种电子束蒸发源装置，其特征在于，包括带有内腔的壳体(1)，冷凝管(2)、第一绝缘件(3)、第二绝缘件(4)、离子束流收集器(5)、用于固定蒸发材料的蒸发棒(6)、两个导体(7)以及灯丝(8)；所述壳体(1)设有第一开口(9)和第二开口(10)，所述第一开口、第二开口分别与所述第一绝缘件、第二绝缘件密封连接；所述离子束流收集器(5)与第二绝缘件(4)连接，且离子束流收集器外部嵌套有收集器外壳(11)，所述第二绝缘件、离子束流收集器以及收集器外壳上设有射出离子束的通孔；所述蒸发棒以及两个导体一侧位于壳体的内腔中，另一侧伸出第一绝缘件(3)；所述灯丝(8)与两根导体(7)位于内腔内的一端连接；所述冷凝管(2)与壳体(1)紧密连接；所述壳体为铜或银材质。

2.根据权利要求1所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述壳体(1)上设有与所述冷凝管形状配合的凹槽(12)，所述冷凝管(2)穿过所述第一绝缘件，置于所述凹槽内。

3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述冷凝管(2)包括外管(13)和内管(14)；外管与所述壳体连接，内管位于外管中，且内管与外管固定连接的一端具有开口(15)；内管和外管的另一端敞开。

4.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述收集器外壳

(11)上设有可将所述离子束流收集器以及收集器外壳的通孔截断的挡板(15)，所述挡板与收集器外壳活动连接。

5.根据权利要求4所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，包括一控制所述挡板关闭的控制杆(16)；所述控制杆一端与挡板(15)连接，另一端通过壳体的内腔后伸出第一绝缘件。

6.根据权利要求1所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述灯丝(8)环绕两个导体(7)一周后交错连接在导体的端部。

7.根据权利要求1所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述壳体的第一开口

(9)与第一绝缘件(3)之间设有第一铜垫块(17)，所述壳体的第二开口(10)与第二绝缘件(4)之间设有第二铜垫块(18)。

8.根据权利要求7所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发棒位于壳体内腔内的一端设有连接件(19)；蒸发棒与所述第一绝缘件以及第一铜垫块接触的部位设有绝缘层(20)。

9.根据权利要求1所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发棒(6)以及导体(7)为钼棒。

10.根据权利要求1所述的电子束蒸发源装置，其特征在于，所述第一绝缘件、第二绝缘件为绝缘陶瓷材质。