[发明专利]准分子灯装置

摘要

本发明提供一种准分子灯装置，具备抑制准分子灯的弯曲的移动限制构件，对于被照射物维持均匀的紫外线照射，同时防止来自放电室的电极部的粒子落下。该准分子灯装置，具有：金属制的筐体(2)；及准分子灯(3)，所述准分子灯(3)与筐体(2)分离地被保持于筐体(2)的下方侧，在放电室(31)的外面配设有电极部(32)，在放电室(31)的筐体侧内面具备紫外线反射膜；将从准分子灯(3)所放射的紫外线照射在被处理物(7)上，其特征为：放电室(31)的一方端部被固定保持于筐体(2)，另一方的端部在长边方向移动自如地被保持于筐体(2)，在筐体(2)与位于筐体(2)下方的准分子灯(3)之间，具备限制准分子灯(3)对于筐体(2)向上方移动的移动限制体(5)，移动限制体(5)具备可旋转地设于准分子灯(3)的长边方向的旋转滚子(51)。

主权项

1.一种准分子灯装置，具有：金属制的筐体；以及准分子灯，所述准分子灯与该筐体分离地被保持于该筐体的下方侧，在向短边方向与长边方向延伸的放电室的外面配设有电极部，在上述放电室的上述筐体侧内面具备紫外线反射膜；该准分子灯装置将从该准分子灯所放射的紫外线照射在被处理物上，其特征为：上述放电室的一方端部被固定保持于上述筐体，另一方的端部在长边方向移动自如地被保持于上述筐体，在上述筐体与位于该筐体下方的上述准分子灯之间具备限制上述准分子灯相对于上述筐体向上方移动的移动限制体，该移动限制体具备可旋转地设于上述准分子灯的长边方向的旋转滚子。