[发明专利]准分子灯装置

说明书

技术领域

本发明涉及准分子灯装置，尤其是涉及被使用于紫外线照射处理的准 分子灯装置。

背景技术

现在，例如在通过紫外线照射清洗液晶显示面板的玻璃基板的工序等 中，使用具备放射波长200nm以下的真空紫外线的准分子灯的准分子灯装 置。被使用于此种准分子灯装置的准分子灯，如在专利文献1的记载，为 了高效率地放射紫外线，以二氧化硅粒子作为主体的紫外线反射膜，形成 在相对于被照射物水平配置的放电室对于被照射物放射紫外线的一面，即 形成于除了光射射出方向侧的一面的放电室内面。

然而，对于在放电室内上面具备紫外线反射膜的准分子灯，所生成的 紫外线被紫外线反射膜隔绝而未到达上方的放电室壁，但在下方的放电室 壁被照射增加了来自上方的紫外线反射膜的反射光的强力的紫外线。通常， 准分子灯被支撑在其长边方向的两端，而在其中央部未被支撑。

因此，随着经过点灯时间，在下方的放电室壁，即构成放电室的光射 出方向侧的壁的玻璃，经时性地储存起因于真空紫外线照射而产生的紫外 线失真。其结果，确认了由于该紫外线失真的影响，光射出方向侧的玻璃 主要向长边方向收缩，而放电室整体，朝向形成有紫外线反射膜的方向凸 状地弯曲。在图5的模式图所示，虚线是凸状地弯曲之前的准分子灯102， 而实线是向箭号方向凸状地弯曲的准分子灯102。

若准分子灯102向上方弯曲，则在准分子灯102的两端侧与中央部， 被照射物即液晶玻璃基板等的工件面与准分子灯102间的距离不相同。若 工件面与准分子灯102间的距离不相同，则光照射强度根据工件面上的部 位有所不同，而无法进行均匀的紫外线处理，当然在处理后的工件上产生 不合格情况。如此，在准分子灯102的中央部需要设置机械式地限制移动 的移动限制构件，以免准分子灯向上方弯曲。

图6是表示从准分子灯装置100的筐体101向准分子灯102的方向突 设四方形材料状的移动限制构件103的状态的图，图6(a)是表示准分子灯 装置100全体的概略构成图，图6(b)是表示图6(a)的C-C剖面图。

如这些图所示，该移动限制构件103一端被固定在筐体101，而另一端 抵接于准分子灯102的放电室105上的电极部104，抑制准分子灯102向上 方的弯曲。但是，支撑准分子灯102的筐体101是金属制，因而在灯点灯 时，通过来自准分子灯102的放射热等会升温，而在灯熄灯后温度降低， 因此产生膨胀收缩。移动限制构件103接触于准分子灯102的金属制网状 电极104，以绝缘性构件典型地以陶瓷材所构成，因而通过筐体101的膨胀 收缩，使得抵接于网状电极104的部位在压住网状电极104的同时，左右 地摩擦。其结果，产生金属粉，而该金属粉落至被处理物105即工件面， 或是在由导电性糊所形成的印刷后经烧成的印刷电极的情况下，则印刷电 极被摩擦而剥落有可能产生落至工件面等的问题。

专利文献1：日本特开2008-66095号公报

发明内容

本发明的目的是鉴于上述问题点，提供一种准分子灯装置，具有：金 属制的筐体；及准分子灯，所述准分子灯与筐体分离而被保持于筐体的下 方侧，在放电室的外面配设有电极部，在放电室的内面一部分具备紫外线 反射膜；具备抑制准分子灯的弯曲的移动限制构件，对于被照射物维持均 匀的紫外线照射，同时防止来自形成于放电室外面的电极部的粒子落下的 准分子灯装置。

本发明是为了解决上述课题，采用如下的方案。

第1方案是一种准分子灯装置，具有：金属制的筐体；以及准分子灯， 所述准分子灯与该筐体分离地被保持于该筐体的下方侧，在向短边方向与 长边方向延伸的放电室的外面配设有电极部，在上述放电室的上述筐体侧 内面具备紫外线反射膜；该准分子灯装置将从该准分子灯所放射的紫外线 照射在被处理物上，其特征为：上述放电室的一方端部被固定保持于上述 筐体，另一方的端部在长边方向移动自如地被保持于上述筐体，在上述筐 体与位于该筐体下方的上述准分子灯之间具备限制上述准分子灯相对于上 述筐体向上方移动的移动限制构件，该移动限制构件具备可旋转地设于上 述准分子灯的长边方向的旋转滚子。