[发明专利]准分子灯装置

权利要求书

1.一种准分子灯装置，具有：金属制的筐体；以及准分子灯，所述准 分子灯与该筐体分离地被保持于该筐体的下方侧，在具有短边方向与长边 方向的放电室的外面配设有电极部，在上述放电室的上述筐体侧内面具备 紫外线反射膜；该准分子灯装置将从该准分子灯所放射的紫外线照射在被 处理物上，其特征为：

上述放电室的一方端部被固定保持于上述筐体，另一方的端部在上述 放电室的长边方向移动自如地被保持于上述筐体，在上述筐体与位于该筐 体下方的上述准分子灯之间具备限制上述准分子灯相对于上述筐体向上方 移动的移动限制体，该移动限制体具备可旋转地设于上述准分子灯的长边 方向的旋转滚子。

2.如权利要求1所述的准分子灯装置，其特征为：

上述移动限制体具有：剖面为向上述准分子灯侧开放的大致コ形状的 基体；设于该基体的大致コ形状的开口部，防止上述旋转滚子脱落的脱落 防止构件；以及在间隙配合于该脱落防止构件的状态下被保持，仅可抵接 于上述基体的大致コ形状的开口部底面与上述准分子灯地设置的上述旋转 滚子。

3.如权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征为：

上述旋转滚子的周面被覆有釉药经烧成而构成。

4.如权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征为：

上述放电室形成为由上壁与下壁及四个侧壁所分隔的剖面为扁平的矩 形管状，在该放电室封入有准分子发光气体，上述紫外线反射膜以二氧化 硅作为主成分，在上述放电室的上壁外面及下壁外面形成有相对的上述电 极部。

5.如权利要求3所述的准分子灯装置，其特征为：

上述放电室形成为由上壁与下壁及四个侧壁所分隔的剖面为扁平的矩 形管状，在该放电室封入有准分子发光气体，上述紫外线反射膜以二氧化 硅作为主成分，在上述放电室的上壁外面及下壁外面形成有相对的上述电 极部。