[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

摘要

本发明提供一种减压干燥装置及减压干燥方法。该减压干燥装置对涂敷有处理液的被处理基板进行上述处理液的干燥处理而形成涂敷膜，能够缩短处理液的干燥时间，而且获得均匀的膜厚。减压干燥装置包括：室(85、86)，收容被处理基板(G)，形成处理空间；保持部(88)，设置在上述室(85、86)内，保持上述被处理基板(G)；排气口(89)，形成在上述室(85、86)内；排气部件(91)，从上述排气口(89)排出室内的气体；整流部件(93、94、95)，设置在上述室内，通过上述排气部件(91)的排气动作形成在上述基板上表面向一个方面流动的气流的流路。

主权项

1.一种减压干燥装置，该减压干燥装置对涂敷有处理液的被处理基板进行上述处理液的减压干燥处理，形成涂敷膜，其特征在于，包括：室，收容被处理基板，形成处理空间；保持部，设置在上述室内，保持上述被处理基板；排气口，形成在上述室内；排气部件，从上述排气口排出室内的气氛气体；整流部件，设置在上述室内，通过上述排气部件的排气动作形成在上述基板上表面向一个方面流动的气流的流路。