[发明专利]封装工艺及封装结构有效
申请号: | 200910174057.2 | 申请日: | 2009-10-20 |
公开(公告)号: | CN102044447A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 沈启智;陈仁川;潘彦良 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/78;H01L25/00;H01L23/31 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种封装工艺及封装结构。该封装工艺如下所述。首先,提供承载板,承载板上配置有粘着层。接着,将多个第一半导体元件配置于粘着层上。然后,在承载板上形成第一封装胶体,第一封装胶体覆盖第一半导体元件的侧壁并填满第一半导体元件之间的间隙,以使第一半导体元件与第一封装胶体形成芯片阵列板。之后,将多个第二半导体元件分别倒装接合至第一半导体元件上。接着,在芯片阵列板上形成第二封装胶体,第二封装胶体至少覆盖第二半导体元件的侧壁并填满第二半导体元件之间的间隙。然后,分离芯片阵列板与粘着层。之后,沿着第二半导体元件之间的间隙切割第二封装胶体与第一封装胶体。 | ||
搜索关键词: | 封装 工艺 结构 | ||
【主权项】:
一种封装工艺,包括:提供承载板,该承载板上配置有粘着层;将多个第一半导体元件配置于该粘着层上,且该多个第一半导体元件彼此分离并分别透过该粘着层固定于该承载板上;在该承载板上形成第一封装胶体,该第一封装胶体覆盖该多个第一半导体元件的侧壁并填满该多个第一半导体元件之间的间隙,以使该多个第一半导体元件与该第一封装胶体形成芯片阵列板;将多个第二半导体元件分别倒装接合至该多个第一半导体元件上;在该芯片阵列板上形成第二封装胶体,该第二封装胶体至少覆盖该多个第二半导体元件的侧壁并填满该多个第二半导体元件之间的间隙;分离该芯片阵列板与该粘着层;以及沿着该多个第二半导体元件之间的间隙切割该第二封装胶体与该第一封装胶体,以形成多个芯片封装单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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