[发明专利]基板处理系统及其基板搬运装置

摘要

本发明实施例提供了一种基板处理系统及其基板搬运装置，其中所述基板处理系统，包括储放匣及基板搬运装置。储放匣具有多个用以储放基板的容置空间，且这些容置空间是沿一排列方向彼此层叠。基板搬运装置包括主体、承载单元以及至少一个基板突出感测器。承载单元适于在待机位置与至少一个工作位置之间移动，并具有承载面与彼此相对的第一端及第二端，且第一端是连接至主体。基板突出感测器是配置于承载单元上，并位于其第二端。而且，基板突出感测器具有第一感测面，其是与承载单元之承载面同样朝向容置空间的排列方向。此基板处理系统可在做映射感测时，感测基板是否有过于突出的情况，以避免撞伤基板。

主权项

1.一种基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置包括：一主体；一承载单元，具有一承载面、一第一端以及一第二端，其中所述第一端连接至所述主体，且所述第二端相对于所述第一端，所述承载单元适于在一待机位置与至少一工作位置之间移动；以及至少一基板突出感测器，配置于所述承载单元上并位于所述第二端，且所述基板突出感测器具有一第一感测面，与所述承载面朝向同一方向。