[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 200910163332.0 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101658976A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光加工装置，其能高速且大范围地调整激光束的聚光点位置。上述激光加工装置包括：保持构件(2)，其保持作为加工对象的工件；和加工构件(3)，其向保持于上述保持构件的工件照射激光束，在该激光加工装置中，加工构件至少设置有：振荡器，其振荡出加工用的激光束；聚光透镜，其使从振荡器发出的激光束会聚于工件；和用于调整激光束的聚光点位置的聚光点位置调整机构(30)。另外，该聚光点位置调整机构由以下部分构成：可动部，其具有永久磁铁，并支承聚光透镜；固定部，其具有用于使上述可动部相对于工件在垂直方向上移动的线圈部、和利用气体来支承可动部的气体轴支承部；以及支承部件，其利用磁排斥作用从下方支承可动部。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其包括：保持构件，其用于保持作为加工对象的工件；和加工构件，其向保持于上述保持构件的工件照射激光束，上述激光加工装置的特征在于，在上述加工构件中至少设置有：振荡器，其振荡出上述激光束；聚光透镜，其使上述激光束会聚于上述工件；可动部，其支承上述聚光透镜，并且该可动部相对于上述工件在垂直方向上移动；固定部，其具有利用气体来支承上述可动部的气体轴支承部，并且该固定部与上述可动部一起构成音圈电动机；以及支承部件，其利用磁排斥作用从下方支承上述可动部。
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