[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其包括：保持构件，其用于保持作为加工对 象的工件；和加工构件，其向保持于上述保持构件的工件照射激光束， 上述激光加工装置的特征在于，

在上述加工构件中至少设置有：

振荡器，其振荡出上述激光束；

聚光透镜，其使上述激光束会聚于上述工件；

可动部，其支承上述聚光透镜，并且该可动部相对于上述工件在垂 直方向上移动；

固定部，其具有利用气体来支承上述可动部的气体轴支承部，并且 该固定部与上述可动部一起构成音圈电动机；以及

支承部件，其利用磁排斥作用从下方支承上述可动部，

上述可动部具有永久磁铁，在上述固定部设置有用于驱动上述可动 部的线圈部，并且上述线圈部用于使上述可动部相对于上述工件在垂直 方向上移动，

上述可动部具有：透镜支承部件，其由环状的永久磁铁构成，聚光 透镜配置在该透镜支承部件的内部；一对杆部件，其支承于上述气体轴 支承部；以及连接部件，其将上述透镜支承部件和上述杆部件连接起来，

上述线圈部以围绕上述透镜支承部件的方式配置。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

上述可动部的可动范围在200μm以下。