[发明专利]用于制作薄膜太阳电池金属电极层的沉积装置

摘要

本发明涉及一种用于制作薄膜太阳电池金属电极层的沉积装置，包括一个腔体和在所述腔体内的用于制作所述金属电极层的沉积区域，还包括：第一传感器，用于检测是否有基片进入所述腔体中并发送第一电信号；第二传感器，用于检测是否有基片从所述腔体中离开并发送第二电信号；控制单元，用于接收所述第一电信号和第二电信号，并在接收到所述第一电信号后将所述沉积装置的电压从空闲状态电压切换为工作状态电压；或在接收到所述第二电信号后将所述沉积装置的电压从工作状态电压切换为空闲状态电压。本发明的优点在于不仅大大降低了电能及靶材的浪费，也减少了设备周期性维护的成本，从而节省了太阳电池的生产成本，同时，避免了频繁的手工操作。

主权项

1、一种用于制作薄膜太阳电池金属电极层的沉积装置，包括一个腔体和在所述腔体内的用于制作所述金属电极层的沉积区域，其特征在于，还包括：第一传感器，设置于所述沉积装置的入口处，用于检测是否有基片进入所述沉积装置的腔体中，并当检测到有基片进入所述沉积装置的腔体中时，发送第一电信号；第二传感器，设置于所述沉积装置的出口处，用于检测是否有基片从所述沉积装置的腔体中离开，并当检测到有基片从所述沉积装置的腔体中离开时，发送第二电信号；控制单元，用于接收所述第一电信号及所述第二电信号，并在接收到所述第一电信号后将所述沉积装置的电压从空闲状态电压切换为工作状态电压，以在所述基片表面形成金属电极层；以及在接收到所述第二电信号且在预定时间内未接收到所述第一电信号时，将所述沉积装置的电压从工作状态电压切换为空闲状态电压。