[发明专利]光电转换元件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200910141070.8 申请日: 2009-05-18
公开(公告)号: CN101894870A 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 张佑嘉;陈春弟;朱仁佑;叶昱昕 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: H01L31/04 分类号: H01L31/04;H01L31/042;H01L31/08;H01L31/0352;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邱军
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种光电转换元件及其制造方法。该光电转换元件包括基底层与有源层。有源层设置在基底层上。有源层的接收光面具有表面组织结构。表面组织结构包含重复的多个凹陷单元,每个该凹陷单元包含交叉的三个平面,在交叉处形成有凹尖点。此三个平面相互垂直或近似相互垂直。本发明采用角耦结构当作凹陷单元,可以增加对入射光产生三次以上反射的区域,能有效提升对入射光的吸收。
搜索关键词: 光电 转换 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
一种光电转换元件,包括:基底层;以及有源层,设置在该基底层上,该有源层的接收光面具有表面组织结构,其中该表面组织结构包含重复的多个凹陷单元,每个该凹陷单元包含交叉的三个平面,在交叉处形成有凹尖点,该三个平面相互垂直或近似相互垂直。
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