[发明专利]锗窗、其制造方法以及具有该锗窗的气密性盒体有效
| 申请号： | 200910139923.4 | 申请日： | 2009-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN101597020A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;方辉;雷述宇 | 申请（专利权）人： | 北京广微积电科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吕俊清 |
| 地址： | 100176北京市北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种锗窗，由一锗窗本体(110)和一金属化层(120)构成，该金属化层(120)是以该锗窗本体(110)为基在其边缘部分下表面依次层积的由金层形成的底层(10)，中间层(20)和由金层、银层或铂层形成的抗氧化外层(30)，所述中间层(20)为镍层(21)-钛层、铬层或钒层(22)-镍层(23)的夹层结构。本发明还公开了所述锗窗的制造方法和具有所述锗窗的气密性盒体。本发明在现有技术锗窗的金属化层的中间层的镍层中间加入缓冲层，即钛层、铬层或钒层(22)，形成新的中间层，即镍层(21)-钛层、铬层或钒层(22)-镍层(23)的夹层结构，使新的中间层(20)内部形成压应力和拉应力交替结构，避免中间层龟裂。 | ||
| 搜索关键词： | 锗窗 制造 方法 以及 具有 气密性 | ||
【主权项】：
1.一种锗窗，由一锗窗本体(110)和一金属化层(120)构成，该金属化层(120)是以该锗窗本体(110)为基在其边缘部分下表面依次层积的由金层形成的底层(10)，中间层(20)和由金层、银层或铂层形成的抗氧化外层(30)，其特征在于，所述中间层(20)为镍层(21)-钛层、铬层或钒层(22)-镍层(23)的夹层结构。
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