[发明专利]聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物，所述聚合物包含：由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中R¹表示氢原子等，R²表示直链、支链或环状C1-C8烷基，R³表示甲基，n表示0至14的整数，Z¹表示单键等，k表示1至4的整数，R⁴和R⁵各自独立地表示氢原子等，并且m表示1至3的整数；由式(II)表示的结构单元，其中R⁶和R⁷各自独立地表示氢原子等，R⁸表示甲基，R⁹表示氢原子等，Z²表示单键等，k’表示1至4的整数，Z’表示能够通过酸的作用而消除的基团；以及由式(III)表示的结构单元，其中R¹⁰表示羧基等，l’表示0至3的整数，Z³表示单键等，并且k”表示1至4的整数。

主权项

1.一种聚合物，所述聚合物包含：由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中R1表示氢原子或甲基，R2表示直链、支链或环状C1-C8烷基，R3表示甲基，n表示0至14的整数，Z1表示单键或-[CH2]k-COO-，k表示1至4的整数，R4和R5各自独立地表示氢原子或可以具有至少一个杂原子的C1-C8一价烃基，或者R4和R5可以结合以形成可以具有至少一个杂原子的C1-C8二价烃基，所述C1-C8二价烃基可以与R4和R5所键合的相邻碳原子一起形成环，或者R4和R5可以结合以在R4所键合的碳原子和R5所键合的碳原子之间形成碳-碳双键，并且m表示1至3的整数，由式(II)表示的结构单元，其中R6和R7各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，R8表示甲基，R9表示氢原子或甲基，Z2表示单键或-[CH2]k’-COO-，k’表示1至4的整数，Z’表示能够通过酸的作用而消除的基团，以及由式(III)表示的结构单元，其中R10在每种情况下都独立地为羧基、氰基或C1-C4烃基，R11表示氢原子或甲基，1’表示0至3的整数，Z3表示单键或-[CH2]k”-COO-，并且k”表示1至4的整数。