[发明专利]一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法在审
| 申请号： | 200910131646.2 | 申请日： | 2009-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101598586A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 肖巍;冯中宝;刘旭东;田海涛;徐剑飞;陈杰 | 申请（专利权）人： | 广州市怡文科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F22/02 | 分类号： | G01F22/02;G01L13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510335广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法，所述微液量计量装置包括：气闭管道；MEMS微结构压力传感器，该传感器的P1管与大气相通，P2管与气闭管道连接，该传感器测出大气同气闭管道中气体的压力差并输出，利用该压力差可计算出被计量液体的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 微液量 计量 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微液量计量装置，其中包括：气闭管道，实现MEMS微结构压力传感器同液体的隔离，防止所述传感器被污水损害；MEMS微结构压力传感器，所述传感器的P1管与大气相通，并且该传感器的P2管与气闭管道连接，该传感器测出大气同气闭管道中气体的压力差并输出。
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