[发明专利]采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统无效
| 申请号： | 200910131508.4 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101515119A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;汪劲松;闵伟;尹文生;胡金春;徐登峰;杨开明;段广洪;田丽;许岩 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677;H01L21/68;H02K33/18 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统包括基台和两个相同的可以在基台上做大范围平面运动的硅片台。基台顶部设置有平面永磁阵列，每个硅片台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构和气浮结构组成，移动电磁结构由n个在以硅片台质心为原点的坐标系中关于X轴对称分布且关于Y轴对称分布的线圈阵列组成，n为大于等于4的偶数，相邻线圈阵列排列方向互成90°布置；所述气浮结构至少由两个轴对称均布的气浮轴承组成。保证了硅片台的质心驱动，简化了系统的控制结构；减轻了驱动负载，提高了硅片台的响应速度以及硅片台运动过程中的加速度和运动定位精度，提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 平面 电机 硅片 台双台 交换 系统 | ||
【主权项】：
1.一种采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，包括基台(11)和两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台，基台顶部设置有平面永磁阵列(16)，该平面永磁阵列由一系列磁化方向交错排列的永磁体布置而成，其特征在于：所述每个硅片台由平台(12)和设置于平台底部的移动电磁结构(14)以及气浮结构(13)组成；所述移动电磁结构由n个在以硅片台质心为原点的坐标系中关于X轴对称分布且关于Y轴对称分布的线圈阵列组成，n为大于等于4的偶数，相邻线圈阵列排列方向互成90°布置；所述气浮结构至少由两个轴对称均布的气浮轴承组成。
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