[发明专利]大型真空镀膜设备有效
| 申请号： | 200910107074.4 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101560645A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 储继国;龚建华 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C16/54 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种大型真空镀膜设备，采用大抽速的牵引分子泵与水汽泵的组合机组，取代传统大型真空镀膜设备中的扩散泵和罗茨泵。本发明可节省抽气能耗80％，缩短粗抽时间，大幅度降低镀膜室的油蒸汽污染，显著提高镀膜产品的质量，并且一套粗抽系统可以供多台镀膜设备共用，节省设备费用和占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种大型真空镀膜设备，包括镀膜室以及分别与所述镀膜室连接的精抽泵、前级泵和粗抽泵，其特征在于：所述精抽泵采用牵引分子泵，或者牵引分子泵和水汽泵的并联机组。
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